相關執行標準:
半導體用透明石英玻璃棒 JC/T 2064-2011
本標準規定了半導體用透明石英玻璃棒(以下簡稱石英玻璃棒)的術語和定義、分類和標記、要求、試驗方法、檢驗規則以及標志、包裝、運輸和貯存等。 本標準適用于半導體行業生產中使用的透明石英玻璃棒。冶金、化學工業用透明石英玻璃棒也可參照本標準執行。
石英玻璃棒一般用于制作半導體和光伏行業中分批式工藝所需的部件;如石英舟、硅片載體及基座等。 氣泡含量低、純度高和嚴苛的尺寸公差是這些熔融石英棒的重要特性。
熔融石英棒可以滿足分批式燒制爐部件對尺寸和外觀的嚴苛要求。
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