由于石英玻璃網絡結構中有很多不規則的空隙，使許多氣體有可能進行擴散和滲透，特點是原子直徑比較小的氣體如氦、氖、氫等在石英玻璃中滲透性比較大，而氮、氧等原子比較大,活度比較小的氣體，即使在600-700oC溫度下，在石英玻璃中滲透擴散是較低的，故石英玻璃可作10-5-10-6mmHg負壓和加熱情況下的操作器皿，可用在高溫真空設備中。