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QSG3透明石英玻璃柑堝 標準

作者:創通石英 來源: 日期:2021/1/18 10:30:10 人氣:82 標簽:透明 石英玻璃柑堝 標準

本標準適用于半導體工業拉制單晶用的高純透明石英玻璃坩堝。   

    本坩堝采用天然石英熔制成坯體,并在其內表面涂一層高純人造石英玻璃層。   

                一、技術要求     

   1.物理、化學性能指標   

    (1)化學成分   

    a.內涂層化學成分   

    鋁、鈣、鎂、鈦、銅、鐵、鉆,鎳、錳、硼、鉀、鈉、理十三個雜質元素的總含 

量不得大于0.001%。   

其中:鋁≤5×l0[-4]%;      銅≤0.l×l0[-4]%;   

      鐵≤0.5×l0[-4]%;   硼≤0.1×l0[-4]%; 

      鉀≤1×l0[-4]%;      鈉≤1×10[-4]%。   

   b.坩堝坯體化學成分       

    鋁、鈣、鎂、鈦、銅、鐵、鈷、鎳、錳、硼、鉀、鈉、鋰十三個雜質元素的總含 

量不得大于0.01%。   

其中:鋁≤60×10[-4]%;     銅≤0.1×l0[-4]%;  

      鐵≤5×l0[-4]%;      硼≤0.3×l0[-4]%;  

      鉀≤4×l0[-4]%;      鈉≤4×l0[-4]%。     

    (2)熱穩定性                     

    試樣在1100℃至20℃溫度急變下試驗三次,不產生裂紋。   

    (3)抗結晶性   

    試樣在1200℃溫度下恒溫半小時,不允許出現直徑大于3毫米的析晶白點,0.5~ 

3毫米的析晶白點,每100平方厘米不得超過10個。    

    (4)涂層厚度應均勻,折合重量應符合表1規定。 

表1 

 外徑D         涂層重量        外徑 D          涂層重量 

  毫米              克           毫米             克 

   80              3.0           106              4.5 

   90              3.5           114              5.5 

  100              4.0           130              7.0 

2.外觀指標 

    (1)坩堝坯體部分(見表2)。 

          項        目 

氣   直徑    弧度部分                      0.3- 0.4 

    毫米    直線部分                      0.3- 0.7 

泡   允許數量(個/厘米[2])                   ≤6 

暗   長    徑   弧度部分                      1- 4 

       毫米     直線部分                      2- 4 

疤   允許數量(條/100厘米[2])                ≤4 

色   絲狀長徑(毫米)                      0.2- 1.5 

     點狀直徑(毫米)                      0.2- 0.8 

斑   允許總數(個/100厘米[2])                ≤4 

     透明顆粒允許數量(個/100厘米2)          ≤30 

波紋(毫米)                                  ≤0.3 

  注:①缺陷寬度小于點狀下限的按絲狀計。 

      ②非圓形缺陷的直徑均按算術平均值計。 

    (2)坩堝口部不得有缺口,不得有深、寬大于4毫米的表皮崩落。 

   (3)坩堝內表面不允許有色斑沾污和析晶。 

    (4)坩堝內表面涂層上每100平方厘米中允許透明顆粒(直徑在0.5- 0.7毫米)為10 

個。 

    二、形狀與規格尺寸 

3.半導體用透明石英玻璃坩堝的形狀與規格尺寸應符合下圖及表3規定。 

表3 

外  徑     高  度    底半徑      厚度范圍      同一橫截面的厚度公差 

  D          H         R 

 80+0.6     60±2     D-1        2.0±0.5             0.3 

  -0.9              ─── 

                       2 

 90+0.6     70±2     D-2        2.0±0.5             0.3 

   -0.9              ───                          

           2 

100+0.6     80±3     D-2        2.3±0.5             0.3 

  -1.1              ─── 

     2 

106+0.6     90±3     D-2        2.3±0.5             0.3 

   -1.1              ─── 

                       2 

114+0.6     75±3     D-2        2.3±0.5             0.3 

   -1.1              ─── 

     2 

130+0.6    110±3     D-2        2.5±0.5             0.4 

   -1.6              ─── 

    2 

    三、試驗方法   

4.化學成分   

    按JC 1866-81《石英玻璃原料及制品中微量雜質元素的分析方法》中的規定 

進行。   

5.熱穩定性   

    按JC187-73《石英玻璃熱穩定性檢驗方法》中的規定進行。   

6.抗結晶性   

    按JC 188-73《石英玻璃抗結晶性檢驗方法》中的規定進行。   

7.氣泡   

按JC190-81《透明石英玻璃氣泡、氣線檢驗方法》中的規定進行。


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