JC/T 2064—2011

半導體用透明石英玻璃棒

1 范圍

本標準規定了半導體用透明石英玻璃棒（以下簡稱石英玻璃棒）的術語和定義、分類和標記、要求、試驗方法、檢驗規則以及標志、包裝、運輸和貯存等。

本標準適用于半導體行業生產中使用的透明石英玻璃棒。冶金、化學工業用透明石英玻璃棒也可參照本標準執行。

2 規范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，僅所注日期的版本適用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本文件。

GB/T 3284 石英玻璃化學成分分析方法 GB/T 4121 石英玻璃熱變色性試驗方法 GB/T 10701—2008 石英玻璃熱穩定性試驗方法 GB/T 12442 石英玻璃中羥基含量檢驗方法 JC/T 597—2011 半導體用透明石英玻璃管

3 術語和定義

JC/T 597 界定的術語和定義適用于本文件。

4 分類和標記

4.1 分類

按用途分為太陽能級石英玻璃棒（T級）和電子級石英玻璃棒（級）。 4.2 標記

產品按分類（T 或 D）、產品名稱、產品規格、生產批號、標準編號的順序標記。

示例∶符合JC/T 2064—2011，直徑為20mm，長度為1000m，生產批號為20091221的太陽能級透明石英玻璃棒標記為∶

T-石英玻璃棒-20×100-2009122l-JC/T 2064—2011

5 要求

5.1 規格尺寸及尺寸公差 5.1.1 直徑及直徑公差